X射线光电子能谱（XPS）

XPS用于研究各种固体材料样品表面（1-10nm厚度）的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。

应用行业：

金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。

材料微结构的研究。

测试服务：

•  XPS-01表面元素定性及半定量分析

•  XPS-02表面成像（Mapping）

•  XPS-03深度分析