俄歇电子能谱（AES） 

AES作为一种表面科学和材料科学的分析技术，通过检测俄歇电子的能量和数量来进行定性定量分析，相较于XPS、SEM，能同时兼顾测试的面内分辨率和深度分辨率，面内能达到几十nm量级，深度探测可达单原子层厚度（小于1nm），具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，对于一些微小的异物或是很薄的膜结构材料非常适用。

应用行业：

材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损、复合材料以及半导体材料和器件的制造工艺

测试服务

•  AES-01表面元素定性及半定量分析

•  AES-02表面成像（Mapping）

•  AES-03深度分析