测试需求
电子探针微区分析（EPMA）
电子探针微区分析（EPMA）
EPMA用于成分分析、形貌观察，但主要是用WDS波谱对特征X射线进行分光探测强度，并结合标准样品来进行元素成分分析，相较于SEM-EDS，具有大束流、大检出角、高检测限、高分辨率等特点，另外对于材料分析中的C、B、O、N等轻元素EPMA也具有更高的灵敏度。
应用行业：
矿物岩石、陶瓷、半导体电子材料、金属材料、硅酸盐玻璃、化工材料、光学材料
测试服务：
• EPMA-01 定性+点定量成分分析
• EPMA-02 线扫描成分分析
• EPMA-03 面扫描成分分析
