飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)

测试内容:TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素、分子等结构信息,其特点在二次离子来自表面1nm以内的原子层分子层,仅带出表面的化学信息,具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点,检测限高达ppm级别。

 

应用行业:

物理,化学,微电子,生物,制药等研究方向。

 

测试服务:

•  TOF-01表面分析

•  TOF-02表面成像(Mapping)

•  TOF-02深度分析