飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)
测试内容:TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素、分子等结构信息,其特点在二次离子来自表面1nm以内的原子层分子层,仅带出表面的化学信息,具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点,检测限高达ppm级别。
应用行业:
物理,化学,微电子,生物,制药等研究方向。
测试服务:
• TOF-01表面分析
• TOF-02表面成像(Mapping)
• TOF-02深度分析
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